東莞市品雅真空設(shè)備有限公司數(shù)值模擬結(jié)果及分析
1、進(jìn)氣噪聲
輸出兩葉轉(zhuǎn)子、三葉轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周(0.04027S)的進(jìn)氣速率圖，兩葉轉(zhuǎn)子、三葉轉(zhuǎn)子進(jìn)氣速率脈動(dòng)曲線。不考慮泵開始運(yùn)轉(zhuǎn)的不穩(wěn)定狀態(tài);泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，進(jìn)氣速率脈動(dòng)與轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)相一致。由于轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中，進(jìn)排氣腔容積不斷發(fā)生由大變小、再由小變大的周期變化，氣體受到周期性擾動(dòng)，引起速率波動(dòng)。兩葉轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周出現(xiàn)四個(gè)完整的脈動(dòng)周期，三葉轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周出現(xiàn)六個(gè)完整的脈動(dòng)周期，與理論預(yù)測(cè)結(jié)果相同。可以看出，兩葉轉(zhuǎn)子泵的最大進(jìn)氣瞬時(shí)速率為1400L/s，最小進(jìn)氣瞬時(shí)速率為100L/s，波動(dòng)幅度較大。三葉轉(zhuǎn)子泵的最大進(jìn)氣瞬時(shí)速率為1000L/s，最小進(jìn)氣瞬時(shí)速率為100L/s。兩者相比之下，兩葉轉(zhuǎn)子的進(jìn)氣速率脈動(dòng)比三葉的大的多。脈動(dòng)越大，進(jìn)氣氣動(dòng)噪聲越大。
2、相比之下，三葉轉(zhuǎn)子的排氣速率脈動(dòng)比兩葉轉(zhuǎn)子的排氣速率脈動(dòng)要大。這是由于兩葉轉(zhuǎn)子頭部有大圓弧密封，工作腔與返冷氣口相通時(shí)，與排氣腔是隔離的。這樣，工作腔內(nèi)的氣體壓力與返冷氣均壓后基本達(dá)到返冷氣壓力(20000Pa)時(shí)，再與排氣腔相通，因此排氣平緩。而三葉轉(zhuǎn)子由于轉(zhuǎn)子頭部沒有大圓弧密封頭，工作腔同時(shí)與返冷氣口、排氣腔相通，排氣腔的高壓氣體(壓力20000Pa)向工腔(壓力7000Pa)快速返流，使氣流受到?jīng)_擊與壓縮形成脈動(dòng)，因此排氣速率脈動(dòng)較大。當(dāng)三葉轉(zhuǎn)子繼續(xù)動(dòng)一定角度轉(zhuǎn)過返冷氣口的位置時(shí)，工作腔才與返冷氣口相通并與排氣腔隔離。工作腔內(nèi)氣體的壓力基達(dá)到返冷氣口的壓力，再與排氣腔相通，排氣較平緩。

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