經(jīng)典款——檢測(cè)精度高，并在掃描范圍、運(yùn)動(dòng)性能、整機(jī)尺寸等各方面均衡配置，適合中小零件的抽樣檢測(cè)，失效分析，工藝改進(jìn)，材料定性分析。配置自動(dòng)上下水及水循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng) ，可用于車間或者理化實(shí)驗(yàn)室。

主要配置：

高度集成的設(shè)計(jì)理念；

懸臂式三軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)、全封閉防護(hù)；

萬(wàn)能夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助等；

自動(dòng)上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)；

應(yīng)用領(lǐng)域

通用型——經(jīng)過(guò)了6代迭代優(yōu)化，設(shè)計(jì)成熟，滿足半導(dǎo)體、集成電路、IGBT模組、低壓電器、金剛石刀具等多個(gè)行業(yè)的普遍應(yīng)用需求。

產(chǎn)品參數(shù)

1、工作電源：220V/50Hz，2KW；

2、最大掃描范圍：350mm×200mm×110mm；

3、整機(jī)尺寸：1350mm×950mm×1300mm；

4、探頭頻率范圍：1~50MHz；（標(biāo)配，可升級(jí)至230MHz）；

5、圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；

6、典型掃描耗時(shí)：<70s （測(cè)試條件：掃描區(qū)域10mmX10mm，分辨率50um)；

7、最大掃描速度: 300mm/s；最大掃描加速度：0.8m/s2；

8、運(yùn)動(dòng)臺(tái)dingw精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重復(fù)dingw精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm；

9、每通道可調(diào)增益：-13~66dB;（標(biāo)配，可升級(jí)）；脈沖重復(fù)頻率：5kHz；（標(biāo)配，可升級(jí)）。